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Le Module excimère MINl 172 nm est une solution de bureau compacte et prête à l'emploi pour Recherche et développement en semi-conducteurs et validation en laboratoire. Délivrant un rayonnement ultraviolet sous vide (VUV) à ondes courtes, il clive les liaisons moléculaires pour éliminer les contaminants organiques et modifier l'énergie de surface sans endommager le substrat, fournissant une plateforme de validation de processus agile pour les laboratoires de recherche et les universités.
Modèle :
EX-D75-1Irradiance centrale (à 1 mm) :
>10mW/cm²Uniformité de l'irradiance :
±10%Temps nécessaire pour atteindre 90 % de la production :
≤5 secondsDurée de vie moyenne d'une lampe :
>1000 hoursMéthode de refroidissement :
Air coolingDimensions du module (L×l×H) :
209×142×69 mmDimensions de l'ouverture de la fenêtre (L×l) :
75×50 mm
Les équipes de R&D utilisent l'EX-C300 pour optimiser les paramètres VUV à 172 nm (dose, distance de travail et temps de cycle) en vue de l'activation des surfaces de collage pour la fixation de puces, le flip-chip et les technologies hybrides. Ce format de table fournit des données d'énergie de surface reproductibles, permettant ainsi de valider le processus de collage avant le passage en production.
Les chercheurs traitent des plaquettes de test nues et structurées avec des photons VUV de 172 nm afin d'établir des normes de propreté avant les procédés ALD, CVD ou PVD. Un fonctionnement à moins de 40 °C élimine tout risque lié au budget thermique, tandis que les données XPS et d'angle de contact post-traitement définissent la dose efficace minimale pour la qualification du procédé.
L'EX-C300 élimine les dépôts organiques sur les masques métalliques fins et les photomasques par oxydation purement photochimique : sans contact, sans produits chimiques, sans résidus. Des essais itératifs confirment que les détails nanométriques des masques restent intacts, définissant ainsi les limites de dose cumulée et de cycles pour une utilisation en production.
Les laboratoires de R&D spécialisés dans les films et les batteries traitent les films polymères (PET, PI, COP) et les feuilles d'électrodes sous une exposition contrôlée à 172 nm, puis mesurent la réduction de l'angle de contact et les gains d'adhérence. Ce procédé à photons froids évite les dommages thermiques aux matériaux sensibles, et les données obtenues sont directement intégrées aux processus de production en ligne – en phase de prototypage avant la fabrication.
Compact et léger, conception prête à l'emploi sur bureau.
Émission UV haute intensité de 172 nm, allumage stable rapide en 5 secondes.
Éclairement uniforme pour des résultats de traitement constants et fiables.
Refroidissement par air, aucun système de refroidissement externe requis.
Solutions applicatives personnalisables et services expérimentaux contractuels disponibles.
Système de gestion de la qualité certifié garantissant un niveau de fabrication supérieur.
Entièrement conforme à la législation européenne en matière de santé, de sécurité et de protection de l'environnement.
Fabrication écologique, totalement exempte de substances dangereuses.
Répond aux critères rigoureux d'isolation électrique, de mise à la terre et de sécurité opérationnelle en Amérique du Nord.
Conçu pour les systèmes d'eau ultrapure (UPW), ce produit écologique est sans mercure. Module VUV 172 nm Ce système déclenche une puissante oxydation radicalaire pour réduire le COT jusqu'à des concentrations de l'ordre du ppb. En convertissant les composés organiques en traces de CO₂ et d'H₂O, il offre une solution de purification d'eau idéale pour les industries des semi-conducteurs, pharmaceutiques et les laboratoires. Sa conception modulaire intelligente simplifie la maintenance sur site et l'extension du système, avec une prise en charge complète des niveaux de puissance et des débits personnalisés.
Améliorez la précision de vos traitements de surface avec les produits GMY. Lampes à excimères de 172 nmUtilisation de technologies avancées oxydation photochimiqueNos solutions de lumière UV de 172 nm sans mercure décomposent efficacement les contaminants organiques pour atteindre une propreté atomique sur les plaquettes de semi-conducteurs, les substrats d'affichage et les dispositifs optiques.
Découvrez la haute efficacité de GMY Lampes à excimères de 172 nm pour photopolymérisation industrielleLampe VUV puissante de 350 W à 1 000 W, sans mercure, pour une réticulation de surface rapide, une finition mate et la modification des revêtements PPF/PCB. Comparée au durcissement UV traditionnel, elle raccourcit le temps de durcissement et améliore les effets de modification de surface.
Le Module de photomodification GMY 172 nm Ce module constitue la solution de choix compatible avec le vide pour activer l'hydrophilie des implants dentaires. Grâce à sa technologie excimère de 172 nm de haute précision, il purifie les surfaces en titane en décomposant les hydrocarbures organiques, ce qui améliore considérablement la bioactivité du TiO₂ et l'ostéointégration. Conçu pour une intégration optimale, ce module se distingue par sa puissance élevée, son faible impact thermique, son cycle de réaction rapide et la couverture homogène et étendue de son faisceau.
GMY Lampes à excimères de 172 nm offrir un rayonnement VUV de haute énergie à dégrader le COT Des lampes sans mercure de 15 W/20 W permettent d'atteindre des concentrations de l'ordre du ppb dans l'eau ultrapure. Elles sont destinées au traitement industriel des eaux. Nos systèmes de traitement par UV, grâce à la génération de radicaux libres, oxydent la matière organique en CO₂ et H₂O. Cette technologie de pointe est particulièrement adaptée à la production d'eau ultrapure.
Le Dispositif UV à excimère de 172 nm livre nettoyage photographique à haute énergie et modification de surface à l'échelle nanométrique Pour les semi-conducteurs, les batteries et les matériaux avancés. Utilisant des photons UV froids de 172 nm, ce système compact rompt les liaisons chimiques organiques et oxyde les contaminants sans endommager le substrat. Avec une grande uniformité de ±15% et fonctionnant à des températures inférieures à 40 °C, elle offre une alternative écologique et à faible consommation aux lampes à mercure basse pression traditionnelles.
