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Source de lumière VUV refroidie par air

Source de lumière VUV refroidie par air

  • Module de lampe excimère miniature de 172 nm pour le traitement des semi-conducteurs

    Le Module excimère MINl 172 nm est une solution de bureau compacte et prête à l'emploi pour Recherche et développement en semi-conducteurs et validation en laboratoire. Délivrant un rayonnement ultraviolet sous vide (VUV) à ondes courtes, il clive les liaisons moléculaires pour éliminer les contaminants organiques et modifier l'énergie de surface sans endommager le substrat, fournissant une plateforme de validation de processus agile pour les laboratoires de recherche et les universités.

    Affichage flexible

    couches minces optiques

    Prétraitement avant revêtement

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