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Le Module excimère MINl 172 nm est une solution de bureau compacte et prête à l'emploi pour Recherche et développement en semi-conducteurs et validation en laboratoire. Délivrant un rayonnement ultraviolet sous vide (VUV) à ondes courtes, il clive les liaisons moléculaires pour éliminer les contaminants organiques et modifier l'énergie de surface sans endommager le substrat, fournissant une plateforme de validation de processus agile pour les laboratoires de recherche et les universités.
Affichage flexible
couches minces optiques
Prétraitement avant revêtement