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Module de lampe excimère 172 nm, nettoyage UV de plaquettes et masques de semi-conducteurs, matage de film FMM/Invar
172nm excimer lamp module
172nm excimer surface treatment
PI film adhesion enhancement light
VUV contact angle reduction module
172nm cold UV light source
Mercury free 172nm light source

Module de lampe excimère 172 nm, nettoyage UV de plaquettes et masques de semi-conducteurs, matage de film FMM/Invar

Il élimine les contaminants organiques à l'échelle nanométrique. Largement utilisé pour le nettoyage UV des plaquettes de semi-conducteurs, des masques métalliques fins FMM, des masques Invar, des masques d'évaporation OLED et des photomasks. Nettoyage UV des circuits imprimés et matage UV excimère sur les lignes de revêtement par rouleaux. Il constitue une alternative économique aux lampes excimères 172 nm Hamamatsu et Ushio.
  • Modèle :

    MO-D330-6
  • Garantie :

    1 year
  • Irradiance à 1 m :

    >100 mW/cm²
  • Uniformité :

    ±10%
  • Irradiance centrale de 172 nm :

    >70 mW/cm² @3mm
  • Durée de vie moyenne (irradiance ≥70%) :

    2,500 hrs
  • Taille :

    (350×350mm irradiation window)
  • Humidité de fonctionnement :

    20%~80%
  • Température de fonctionnement :

    -5°C~30°C
  • Puissance totale :

    1200W ±10%
  • Tension d'entrée (V) :

    AC 110~240V
  • Module de lampe excimère GMY MO-D330-6 172 nm

    En tant que fabricant professionnel de lampes excimères chinoises

    Nos avantages

    • 01. Des solutions personnalisées en fonction des besoins de votre application
    • 02. Délai de livraison de 30 à 45 jours entre la conception et la production
    • 03. Aucun coût de développement | Personnalisable pour une seule unité

    Application Champs

    Semiconductor wafer & Mask Cleaning

    Nettoyage des plaquettes et des masques de semi-conducteurs

    La lumière VUV de 172 nm est fortement oxydante. Elle décompose les impuretés organiques et les particules microscopiques présentes sur les plaquettes, sans laisser de résidus. Ceci garantit une fabrication précise des semi-conducteurs.

    Nettoyage des masques pour écrans OLED et panneaux d'affichage

    Les lampes à excimères de 172 nm émettent une lumière UV à haute énergie. Elles éliminent les impuretés présentes sur les masques des panneaux OLED/d'affichage, prévenant ainsi les défauts de pixels et compatibles avec les lignes de production CSOT de BOE et TCL.

    Organic particles & TOC Removal
    Film & Coating Production

    Nettoyage des masques métalliques par évaporation FMM, Invar et OLED

    Lampe UV pour le nettoyage des masques métalliques fins FMM, lampe excimère 172 nm pour le nettoyage des masques Invar,

    Nettoyage UV des masques d'évaporation OLED, nettoyage UV des masques métalliques VUV 172 nm

    La lumière VUV de 172 nm décompose les composés organiques présents sur ces masques. Elle n'altère pas leur structure, garantissant ainsi un positionnement précis des pixels. Ceci améliore directement le rendement de production.

    Ligne de production de films et de revêtements par excimer

    Système de revêtement par rouleau VUV 172 nm, matage UV excimère.

    La lumière UV excimère de 172 nm modifie la surface des films. Elle crée une texture rugueuse favorisant le matage et une meilleure adhérence du revêtement. Convient aux procédés de revêtement en continu par rouleaux.

    Cold Plate & AI Server Cleaning

    Caractéristiques principales

    01 Sortie haute intensité

    Irradiance de surface > 100 mW/cm² ; 70 mW/cm² (à 3 mm). Élimine efficacement les contaminants organiques.

    02 Longue durée de vie

    Électrodes haut de gamme et contrôle précis des gaz. Durée de vie de base supérieure à 2 500 h. Garantie de 1 000 h, dégradation garantie. < 30 %. Jusqu'à plus de 3000 heures d'autonomie pour un usage professionnel.

    03 Excellente uniformité

    Fenêtre d'irradiation 350×350 mm, uniformité ±10 %. Dimensions de la fenêtre personnalisables selon vos besoins.

    04 Fonctionnement instantané

    Démarrage instantané, sans préchauffage. Compatible avec les systèmes de revêtement à haute fréquence et à rouleaux continus.

    05 Grande adaptabilité

    Fonctionnement fiable entre -5°C et 30°C, idéal pour les salles blanches et les zones à température contrôlée.

    06 Intégration flexible

    Compatible avec divers équipements de production, nous proposons des solutions sur mesure, livrées rapidement et sans frais de développement.

    07 Source lumineuse sans mercure

    Utilise une source de lumière UV sans mercure de 172 nm, garantissant sécurité et protection de l'environnement.

    08 Professionnel et fiable

    Forts de 30 ans d'expérience dans le domaine de la lumière UV et la fabrication d'équipements, avec une capacité de production à grande échelle, une grande constance de produit, des performances stables et une livraison fiable et ponctuelle.

    Certifications et conformité

    ISO Certificate
    ISO

    ISO 9001/14001

    Système de gestion de la qualité certifié garantissant des normes de fabrication de premier ordre.

    CE Certified Declaration
    CE

    Certifié CE

    Entièrement conforme à la législation européenne en matière de santé, de sécurité et de protection de l'environnement.

    ROHS Compliance Certificate
    RoHS

    Conforme à la norme RoHS

    Fabrication écologique, totalement exempte de substances dangereuses.

    UL Safety Certificate
    UL

    Certifié UL

    Norme de conformité nord-américaine de premier ordre en matière de sécurité électrique et de prévention des incendies.

    FAQ

    Q Quel est le principe de fonctionnement d'une lampe excimère de 172 nm ?

    La lampe à excimères VUV de 172 nm génère une lumière ultraviolette sous vide de haute énergie par décharge gazeuse. Elle présente une énergie photonique élevée, largement supérieure à l'énergie de liaison des molécules organiques courantes.

    Grâce à sa forte capacité à rompre les liaisons moléculaires, la lumière décompose directement les contaminants organiques. Elle produit également des espèces réactives de l'oxygène, ce qui renforce l'efficacité du nettoyage et de l'élimination du COT.

    Alternative fiable aux lampes excimères Ushio et Hamamatsu 172 nm, elle convient au nettoyage des semi-conducteurs, au nettoyage des plaques froides, au traitement de l'eau CDU et UPW, au matage de films et à d'autres scénarios industriels.

    Q Pourquoi choisir GMY ?

    1. GMY possède 30 ans d'expérience dans la R&D et la production de lampes UV et une solide expertise technique.
    2. Nous proposons des solutions personnalisées pour répondre aux exigences réelles de votre application.
    3. Délai de livraison rapide : 30 à 45 jours entre la conception et les produits finis.
    4. Aucun coût de développement, et la personnalisation est possible même pour les commandes d'une seule unité.

    Q Cet appareil peut-il être utilisé dans plusieurs scénarios d'application ?

    Oui. Il prend en charge le nettoyage des plaquettes de semi-conducteurs, des circuits imprimés et de divers masques, ainsi que les procédés de matage de films et d'enduction au rouleau. Seuls des ajustements mineurs sont nécessaires pour les différentes utilisations.
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CONTACTEZ-NOUS :jwtan@gmyok.com